可穿戴設(shè)備、柔性顯示屏以及便攜式電子產(chǎn)品的快速發(fā)展，對(duì)柔性微型電子組件的需求日益增長(zhǎng)。其中，高密度柔性微型電感器作為電力轉(zhuǎn)換和信號(hào)處理的關(guān)鍵元件，在提升設(shè)備性能、降低能耗以及實(shí)現(xiàn)設(shè)備微型化方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。為滿足新一代柔性電子產(chǎn)品對(duì)柔韌性和可彎曲性的高要求，相關(guān)研究表明，可在柔性基板上集成薄膜電感器。但是這些線圈主要由非磁性材料組成，即使有磁性薄膜作為襯底，也會(huì)產(chǎn)生漏磁現(xiàn)象。這種漏磁會(huì)降低電感值，無(wú)法滿足直流-直流（DC-DC）轉(zhuǎn)換器等低頻應(yīng)用對(duì)高感值的需求。因此，研究高電感值且具有柔韌性的電感器，為實(shí)現(xiàn)更高效、更緊湊的柔性電子系統(tǒng)提供新的解決方案，具有極其重要的研究?jī)r(jià)值和應(yīng)用前景。

近期，中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所非晶合金磁電功能特性團(tuán)隊(duì)在王軍強(qiáng)研究員的指導(dǎo)下，基于鐵基非晶軟磁合金的優(yōu)異性能，利用高精度飛秒激光燒蝕技術(shù)，在抑制非晶合金晶化的前提下，制備得到了非晶柔性微型電感器（如圖1）。該柔性電感器具有優(yōu)異的機(jī)械柔韌性和非常高的變形穩(wěn)定性，可承受大于5 mm的拉伸變形量（自身尺寸的3倍，如圖1e-g），當(dāng)彎曲半徑為16 mm時(shí)，電感值和品質(zhì)因子衰減小于10%，2500次彎曲實(shí)驗(yàn)之后性能依舊（如圖2）。同時(shí)，在1MHz時(shí)其電感密度高達(dá)280-390 nH/mm²，是傳統(tǒng)平面電感器的10倍左右（如圖3），并且相較于傳統(tǒng)的銅等非磁性材料，減少了漏磁現(xiàn)象，漏磁小于10^-4 T（如圖4），可極大減少電子元器件之間的干擾。

這種電感器的柔性設(shè)計(jì)不僅使其能夠適應(yīng)各種彎曲和折疊的應(yīng)用環(huán)境，還能在極小的體積內(nèi)實(shí)現(xiàn)高電感密度，滿足微型化和輕薄化電子產(chǎn)品的需求。通過(guò)優(yōu)化非晶軟磁合金條帶的磁性能和精確的線圈設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)不同范圍電感值的調(diào)控。這種電感器在低頻、高效電子設(shè)備中具有廣泛應(yīng)用潛力，不僅為非晶軟磁合金提供了一種新的應(yīng)用場(chǎng)景，也為柔性電子技術(shù)的發(fā)展提供了更多的材料選擇和設(shè)計(jì)靈感。?

研究成果以“Flexible Mini-Inductors with Ultra-High Inductance Density Directly Cut from Soft Magnetic Amorphous Alloys by Femtosecond Laser”為題發(fā)表在Advanced Functional Materials上。（DOI：10.1002/adfm.202313355）。論文的第一作者為寧波材料所博士研究生陳亞男、張巖研究員、王吉高級(jí)工程師，通訊作者為寧波材料所王軍強(qiáng)研究員、張巖研究員、張文武研究員，合作作者包括寧波材料所碩士研究生陳志豪、博士后曹小文、博士研究生韓飛、向明亮工程師、霍軍濤研究員。本工作是和寧波材料所張文武研究員帶領(lǐng)的激光與智能能量場(chǎng)制造工程團(tuán)隊(duì)合作完成，得到了國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目、浙江省“尖兵計(jì)劃”、寧波市基金和寧波材料所所長(zhǎng)基金的支持。

圖1 非晶合金柔性微型電感器的制備與特性：（a）利用飛秒激光制備柔性電感器的示意圖；（b）9匝柔性電感器與指紋對(duì)比的光學(xué)圖像；（c）9匝柔性電感器的放大光學(xué)圖像；（d）處于彎曲狀態(tài)的微型電感；（e-g）電感器在不同拉伸變形下的光學(xué)圖片，變形量可逐漸增大至5 mm

圖2 （a）和（b）在平坦和彎曲條件下電感值和品質(zhì)因子的頻率依賴性（插圖顯示了在彎曲半徑為16 mm的電感器）；（c）非晶柔性電感器在不同彎曲應(yīng)變下的電感值和品質(zhì)因子（f = 1 MHz），衰減量小于10%；(d) 2500次彎曲循環(huán)后的電感值和品質(zhì)因子幾乎不變（f = 1 MHz）

圖3 柔性非晶電感器與文獻(xiàn)報(bào)道其他類(lèi)型電感器的的電感值及電感密度對(duì)比圖

圖4 （a）和（b）為銅電感器的橫截面與平面磁通線分布；（c）和（d）為柔性非晶軟磁電感器的橫截面與平面磁通線分布，在空間內(nèi)幾乎無(wú)漏磁現(xiàn)象

（中國(guó)科學(xué)院磁性材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室? 陳亞男）